代理-微機(jī)械傳感器(MEMS)傳感器-品牌[韋克威]
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微型化是傳感器技術(shù)的主要發(fā)展方向之一,也是科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及社會(huì)的發(fā)展對(duì)傳感器的要求。微電子機(jī)械系統(tǒng)( Micro Electro - Mechanical System , MEMS )技術(shù)的發(fā)展是微機(jī)械傳感器產(chǎn)生的最直接的動(dòng)力。許多專家都認(rèn)為MEMS技術(shù)將掀起下一次工業(yè)革命,微機(jī)械傳感器是目前最為成功、最具有實(shí)用性的MEMS裝置。
與“普通的”或“常規(guī)的"傳感器相比,微機(jī)械傳感器不僅僅只是在尺寸上按比例縮小。微機(jī)械傳感器在材料、加工方式應(yīng)用范圍等方面,與傳統(tǒng)的傳感器都有很大的不同。綜合各種文獻(xiàn)得出,微機(jī)械傳感器包括3個(gè)層面的含義。
(1)微機(jī)械傳感器指的是單一的傳感器。 這類傳感器的一個(gè)顯著特點(diǎn)就是尺寸小。在加工中,主要采用精密加工、微電子技術(shù)以及MEMS技術(shù),使得傳感器的尺寸大大減小。
(2)微機(jī)械傳感器也指一個(gè)集成的傳感器。這類傳感器將微小的敏感元件、信號(hào)處理器、數(shù)據(jù)處理裝置封裝在一塊芯片上,形成集成的傳感器。
(3)微機(jī)械傳感器,指傳感器系統(tǒng)。在這種系統(tǒng)中,不但包括傳感器,還包括微執(zhí)行器,可以獨(dú)立工作。此外,還可以由多個(gè)微機(jī)械傳感器組成傳感器網(wǎng)絡(luò)或者通過(guò)其他網(wǎng)絡(luò)實(shí)現(xiàn)異地聯(lián)網(wǎng)。