高精度-光柵式傳感器-品牌[韋克威]
光柵很早就被人們發(fā)現(xiàn)了,但應用于技術領域只有一百多年的歷史。早期人們是利用光柵的衍射效應進行光譜分析和光波波長的測量,到了20世紀50年代人們才開始利用光柵的莫爾條紋現(xiàn)象進行精密測量,從而出現(xiàn)了光柵式傳感器。光柵式傳感器具有許多優(yōu)點,如測量精度高。在圓分度和角位移測量方面,一般認為光柵式傳感器是精度最高的一種,可實現(xiàn)大量程測量兼有高分辨率;可實現(xiàn)動態(tài)測量,易于實現(xiàn)測量及數(shù)據(jù)處理的自動化;且具有較強的抗干擾能力等。因此,近些年來,光柵式傳感器在精密測量領域中的應用得到了迅速發(fā)展。
一、基本工作原理
在玻璃尺或玻璃盤上類似于刻線標尺或度盤那樣,進行長刻線(一盤為10~ 12 mm)的密集刻劃,這就是光柵。
二、計量光柵的種類
光柵的種類很多,若按工作原理分,有物理光柵和計量光柵兩種,前者用于光譜儀器,作色散元件,后者主要用于精密測量和精密機械的自動控制中。而計量光柵按其用途可分為長光柵和圓光柵兩類。
1.長光柵
長光柵主要用于測量長度,條紋密度有每毫米25條、50條、100 條、250條等。根據(jù)柵線形式的不同,長光柵分為黑白光柵和閃耀光柵。黑白光柵是指只對人射光波的振幅或光強進行調(diào)制的光柵,所以也稱幅值光柵。根據(jù)光線的走向,長光柵又分為透射光柵和反射光柵。透射光柵是將柵線刻制在透明的玻璃上,反射光柵的柵線則刻制在具有強反射能力的金屬(如不銹鋼或玻璃鍍金屬膜)上。
2.圓光柵
圓光柵有兩種,一種徑向光柵。其柵線的延長線全部通過圓心;另一種是切向光柵,其全部柵線與一個同心小圓相切,此小圓直徑很小,只有零點幾或幾個毫米。圓光柵主要用透射的,它主要用來測量角度或角位移。圓光柵的結構及徑向光柵、切向光柵。